PLASUS - 20 Jahre Kompetenz in spektroskopischem Plasmamonitoring


PLASUS ist ein weltweit führender Hersteller von spektroskopischen Plasmamonitoren für jegliche Art von Plasmaprozessen in F&E und Industrie. Seit nunmehr 20 Jahren entwickelt, produziert und vertreibt PLASUS innovative und anwendungsorientierte Plasmamonitor- und Prozesskontrollsysteme. Die Anwendungspalette reicht von der Qualitätskontrolle von PECVD-Plasmen über die aktive Prozessregelung in reaktiven Sputterprozessen und der Endpunktdetektion in Ätzprozessen bis hin zur Prozessüberwachung von atmosphärischen Plasmen.


Der Firmengründer Dr. Thomas Schütte legte von Anbeginn besonderen Wert auf den konsequenten Einsatz der spektroskopischen Messtechnik in einem schlüsselfertigen und industrietauglichen System. Daraus entstanden wegweisende Plasmamonitorsysteme mit innovativen In-Vakuum Sensoren und einer umfassenden aber dennoch einfach zu bedienenden Softwareoberfläche, die den Anwendern eine Vielzahl von neuartigen Echtzeitmesstechniken in der Plasmatechnologie zur Verfügung stellten.


„Wir bedanken uns bei allen Anwendern und deren aktiven Feedback, denn nur so konnten wir die wegweisenden spektroskopischen Plasmamonitorsysteme auf den Weg bringen“, unterstreicht Thomas Schütte die große Bedeutung eines intensiven Kundensupports für eine anwendungsorientierte Geräteentwicklung. Dadurch hat sich PLASUS im Laufe der Jahre eine weltweit marktführende Stellung erarbeitet und vielen Kunden aus Forschung, Entwicklung und Produktion zu neuen, verbesserten und einzigartigen Ergebnissen und Produkten verholfen.


Das Vertriebsnetz von PLASUS ist kontinuierlich am Wachsen mit zahlreichen lokalen Vertriebspartnern in den europäischen Ländern, dem langjährigen und starken asiatischen Supportcenter in Taiwan und lokalen Vertretungen in Japan, China und Korea. Den amerikanischen Markt wird in Kürze ein nordamerikanischer Partner betreuen.


Die Mitarbeiter von PLASUS werden auch in Zukunft mit großer Begeisterung an der Weiter- und Neuentwicklung von spektroskopischen Plasmamonitor- und Prozesskontrollsystemen arbeiten und den Anwender bei Fragen bestmöglich und zeitnah mit Rat und Tat zur Seite stehen.


Eine Zusamenfassung der Firmengeschichte als PDF-Datei finden Sie hier.

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