EMICON HR

Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Spektrometersystem und eignet sich besonders für die detailierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring aber auch zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung. Das einkanalige EMICON HR System ist mit allen notwendigen Eigenschaften ausgerüstet, um Prozessplasmen zu beobachten und detailiert zu analysieren.

Mit einem Spektralbereich von 200-860 nm deckt das EMICON HR Systems die wichtigen Teile der UV-VIS-NIR Bereiche ab. Mit einer 10fach besseren spektralen Auflösung im Vergleich zu den Standardsystemen ermöglicht das EMICON HR die wesentlich bessere spektrale Trennung von benachbarten Atomlinien und Vibrations- und Rotationslinien in Molekülbanden. Durch die kompakte Bauform ohne bewegliche Teile und die Datenübermittelung über eine USB 2.0 Schnittstelle kann das EMICON HR System einfach und problemlos transportiert und an verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden.
Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für die Spektrenauswertung, für die Plasmaanalyse und für das Plasmamonitoring: Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, Vorlagenmanager und vieles mehr.

EMICON HR Eigenschaften:EMICON HR in Kürze:




Anwendungen:

  • Plasmadiagnostik, Spektralanalyse
  • Dünnschichttechnologien (PVD, PECVD)
  • Plasmaätzen, Endpunktkontrolle
  • Qualitätskontrolle, Fehlererkennung