EMICON SA

Die EMICON SA Systeme sind speziell für den Einsatz zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien entwickelt worden. Die integrierte Prozessoreinheit ermöglicht einen 24/7 Stand-Alone Betrieb und die einfache Integration des Systems z.B. per LAN oder Profibus in die Anlagensteuerung.

Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm decken die Spektrometereinheiten des EMICON SA Systems den UV-VIS-NIR Bereich ab. Das EMICON SA System kann mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Zusätzlich stehen mehrere Spannungseingänge zur Verfügung für die Erfassung und Verarbeitung externer Sensorsignale, z.B. von Lambdasonden oder der Targetspannung. Über die EMICON SA Managersoftware werden die Systemeinstellungen per LAN-Verbindung vorgenommen. Die Anlagenintegration erfolgt über Profibus oder LAN.
Das EMICON SA System bietet umfangreiche Funktionen für das Plasmamonitoring und für die Prozessregelung: Rezeptmanager, Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, automatische Erfassung der Regelkurve und vieles mehr.

EMICON SA Eigenschaften:EMICON SA in Kürze:




Anwendungen:

  • Dünnschichttechnologien (PVD, PECVD)
  • Reaktives Magnetronsputtern und HIPIMS
  • Plasmaätzen, Endpunktkontrolle
  • Qualitätskontrolle und Fehlererkennung
  • Retrofitting und Upgraden von PEM-Systemen