EMICON LC MODUL
Das EMICON LC System ist eine ideale Erweiterung des EMICON SA Systems zur in-situ Echtzeitmessung von Transmission, Reflexion, Absorption, Farbe oder Schichtdicke am Werkstück während des Plasmaprozesses. Es ist sowohl als Zusatzmodul für das EMICON Modelle SA erhältlich als auch als eigenständiges EMICON LC System für die Anwendung in plasmalosen Beschichtungsprozessen.
ANWENDUNGEN
TECHNISCHE DATEN
| Spektrometerkanäle: | 1-2 |
| Spektrale Auflösung: | 1.5 nm |
| Wellenlängenbereich: | 350 – 1100 nm |
| Signalauflösung: | 16 Bit |
| Zeitauflösung: | ca. 20 ms bis Minuten |
| Lichtquellen: | Halogenlampe, Weißlicht-LED, … |
| Schichtdicken: | ca. 5 nm bis 2 µm |
| Farbwertskalen: | L*a*b*, XYZ, … |
MERKMALE
EMICON LC MODUL
Das EMICON LC Modul ergänzt das EMICON SA und das EMICON MC System mit der einzigartigen Fähigkeit, parallel zur Plasmaprozesskontrolle in einem Messsystem simultan eine reflektometrische in-situ Produktkontrolle im laufenden Prozess durchzuführen. Die Prozessregelung und Qualitätskontrolle wird dadurch entscheidend optimiert, weil sowohl Prozess als auch Produkt in Echtzeit kontinuierlich überwacht werden.
Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm deckt die Spektrometereinheit des EMICON LC Modul einen weiten Wellenlängenbereich ab und kann somit problemlos mit verschiedenen Lichtquellen kombiniert werden. Aus der Auswertung der spektralen Charakteristik können Reflektivität, Transmission und Absorption bestimmt sowie die Schichtdicke und Farbwerte reproduzierbar und mit hoher Genauigkeit berechnet werden. Die Datenerfassung, der Datentransfer, die Schichtberechnungen und die Darstellung der Ergebnisse erfolgen innerhalb der EMICON Software und die Messwerte können direkt für Steuerungs- und Regelungsaufgaben verwendet werden.