EMICON LC System

EMICON LC SYSTEM

Das EMICON LC System ist eine ideale Erweiterung der EMICON SA und EMICON MC Systeme zur in-situ Echtzeitmessung von Transmission, Reflexion, Absorption, Farbe oder Schichtdicke am Werkstück während des Plasmaprozesses. Es ist sowohl als Zusatzmodul für die EMICON Modelle SA und MC erhältlich als auch als eigenständiges EMICON LC System für die Anwendung in plasmalosen Beschichtungsprozessen.

ANWENDUNGEN

  • Simultane Prozess- und Produktkontrolle
  • In-situ Messung von Reflexion, Transmission und Absorption
  • Echtzeitbestimmung der Schichtdicke
  • Farbmessung im laufenden Prozess
  • Qualitätskontrolle

TECHNISCHE DATEN

Spektrometerkanäle:1-2
Spektrale Auflösung:1.5 nm
Wellenlängenbereich:350 – 1100 nm
Signalauflösung:16 Bit
Zeitauflösung:ca. 20 ms bis Minuten
Lichtquellen:Halogenlampe, Weißlicht-LED, …
Schichtdicken:ca. 5 nm bis 2 µm
Farbwertskalen:L*a*b*, XYZ, …

MERKMALE

Datenaufnahme mit Breitband-Spektrometern
Spektrale Berechnung von Reflexion, Transmission und Absorption
Bestimmung der Schichtdicke mittels Spektralanalyse in Echtzeit
Echtzeitbestimmung von Farbwerten
Kombinierte Auswertung von Prozess- und Schichtdaten
Anwendungsspezifische Lichtquellen (Halogen, LED, …)
Optikkomponenten für In-Vakuumanwendungen
Komfortable Windows Software

EMICON LC SYSTEM

Das EMICON LC System ergänzt das EMICON SA und das EMICON MC System mit der einzigartigen Fähigkeit, parallel zur Plasmaprozesskontrolle in einem Messsystem simultan eine reflektometrische in-situ Produktkontrolle im laufenden Prozess durchzuführen. Die Prozessregelung und Qualitätskontrolle wird dadurch entscheidend optimiert, weil sowohl Prozess als auch Produkt in Echtzeit kontinuierlich überwacht werden.

Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm deckt die Spektrometereinheit des EMICON LC Systems einen weiten Wellenlängenbereich ab und kann somit problemlos mit verschiedenen Lichtquellen kombiniert werden. Aus der Auswertung der spektralen Charakteristik können Reflektivität, Transmission und Absorption bestimmt sowie die Schichtdicke und Farbwerte reproduzierbar und mit hoher Genauigkeit berechnet werden. Die Datenerfassung, der Datentransfer, die Schichtberechnungen und die Darstellung der Ergebnisse erfolgen innerhalb der EMICON Software und die Messwerte können direkt für Steuerungs- und Regelungsaufgaben verwendet werden.