EMICON SA SYSTEM
Die EMICON SA Systeme sind die erste Wahl für eine ganzheitliche Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien. Mit der einzigartigen Kombination zur Erfassung aller wichtigen Prozessdaten in einem System in Echtzeit sind die EMICON SA Systeme der weltweite Maßstab für erfolgreiche Prozesskontrolle.
ANWENDUNGEN
TECHNISCHE DATEN
Spektrometerkanäle: | 1-8 |
Spektrale Auflösung: | 1.5 nm |
Wellenlängenbereich: | 200 – 1100 nm |
Signalauflösung: | 16 Bit |
Integrationszeit: Aufnahmerate: | 50 µs bis Sekunden 10 ms bis minuten |
Sensoreingänge: | 0 – 10 Volt (2/4) |
Analoge Regelausgänge: | 0 – 10 Volt (4/8) |
Digitale Ein- und Ausgänge: | TTL 5V / 24V (8/8) |
Anschluss: | LAN (TCP/IP) |
Feldbusse: | Profibus, Profinet, EtherCAT, EtherNET/IP, OPC-UA |
MERKMALE
EMICON SA SYSTEM
Die EMICON SA Systeme sind speziell für den Einsatz zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien entwickelt worden und können durch ihre modulare Bauweise entsprechend den Kundenanforderungen konfiguriert werden. Die integrierte Prozessoreinheit ermöglicht einen 24/7 Stand-Alone Betrieb und die einfache Integration des Systems in die Anlagensteuerung.
Die Spektrometereinheiten des EMICON SA Systems decken den UV-VIS-NIR Bereich ab und erfassen damit alle prozessrelevanten Spezies gleichzeitig. Für ortsaufgelöste Regelungen kann das EMICON SA System mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Zusätzlich stehen mehrere Spannungseingänge zur Verfügung für die Erfassung und Verarbeitung externer Sensorsignale, z.B. von Lambdasonden oder der Targetspannung. Mit der Erweiterung zum EMICON SA-HIPIMS System können zusätzlich die Pulskurven von Pulsspannung und Pulsstrom in gepulsten Anwendungen zeitaufgelöst für die Prozessregelung eingebunden werden.
Über die EMICON SA Managersoftware werden die Systemeinstellungen per LAN-Verbindung vorgenommen. Die Anlagenintegration erfolgt über Feldbusse oder LAN. Die EMICON SA Systeme sind damit voll einsatzbereit in Industrie 4.0 und KI-basierten Anwendungen.