EMICON SA System

EMICON SA SYSTEM

Die EMICON SA Systeme sind die erste Wahl für eine ganzheitliche Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien. Mit der einzigartigen Kombination zur Erfassung aller wichtigen Prozessdaten in einem System in Echtzeit sind die EMICON SA Systeme der weltweite Maßstab für erfolgreiche Prozesskontrolle.

ANWENDUNGEN

  • Prozessregelung in reaktiven Sputterprozessen
  • Überwachung der Prozessstabilität
  • Ionendichteregelung in gepulsten HIPIMS-Prozessen
  • Erkennung und Überwachung von Plasmaverunreinigungen
  • Ortsaufgelöste Prozessüberwachung von großflächigen Anwendungen
  • Retrofit und Upgrade von PEM-Systemen

TECHNISCHE DATEN

Spektrometerkanäle:1-8
Spektrale Auflösung:1.5 nm
Wellenlängenbereich:200 – 1100 nm
Signalauflösung:16 Bit
Zeitauflösung:1 ms bis Minuten
Sensoreingänge:0 – 10 Volt (2/4)
Analoge Regelausgänge:0 – 10 Volt (4/8)
Digitale Ein- und Ausgänge:TTL 5Volt/24V (8/8)
Anschluss:LAN (TCP/IP)
Feldbusse:Profibus, Profinet, EtherCAT, EtherNET/IP, OPC-UA

MERKMALE

Stand-Alone Betrieb (24/7)
Prozesskontrolle mit Sollwertfunktion und PID Regelfunktion
Mehrkanalsysteme für ortsaufgelöste Messungen
Spannungseingänge für externe Sensorsignale
Strom-/Spannungseingänge für zeitaufgelöste Pulskurven
Digitale und analoge Ein- und Ausgänge zur Systemintegration
Feldbusse und LAN Schnittstelle zur Anlagenintegration
Datenaufbereitung für Industrie 4.0 und KI-basierte Anwendungen
Konfiguration über LAN mit EMICON SA Manager Software für Windows
Modulare Konfiguration entsprechend Anforderungsprofil

EMICON SA SYSTEM

Die EMICON SA Systeme sind speziell für den Einsatz zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien entwickelt worden und können durch ihre modulare Bauweise entsprechend den Kundenanforderungen konfiguriert werden. Die integrierte Prozessoreinheit ermöglicht einen 24/7 Stand-Alone Betrieb und die einfache Integration des Systems in die Anlagensteuerung.

Die Spektrometereinheiten des EMICON SA Systems decken den UV-VIS-NIR Bereich ab und erfassen damit alle prozessrelevanten Spezies gleichzeitig. Für ortsaufgelöste Regelungen kann das EMICON SA System mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Zusätzlich stehen mehrere Spannungseingänge zur Verfügung für die Erfassung und Verarbeitung externer Sensorsignale, z.B. von Lambdasonden oder der Targetspannung. Mit der Erweiterung um das EMICON Pulse/HIPIMS Modul können zusätzlich die Pulsspannung und Pulsstrom in gepulsten Anwendungen zeitaufgelöst für die Prozessregelung eingebunden werden. Über die EMICON SA Managersoftware werden die Systemeinstellungen per LAN-Verbindung vorgenommen. Die Anlagenintegration erfolgt über Feldbusse oder LAN. Die EMICON SA Systeme sind damit voll einsatzbereit in Industrie 4.0 und KI-basierten Anwendungen.