Produkte

EMICON SA SYSTEM

PROZESSKONTROLLE FÜR DIE PRODUKTION

Die EMICON SA Systeme sind die erste Wahl für eine ganzheitliche Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien. Mit der einzigartigen Erfassung und Kombination aller wichtigen Prozessdaten in einem System in Echtzeit sind die EMICON SA Systeme der weltweite Maßstab für erfolgreiche Prozesskontrolle.

EMICON MC SYSTEM

PLASMAMONITORING UND PROZESSOPTIMIERUNG

Die EMICON MC Systeme sind ideale Plasmamonitorsysteme für den F&E Bereich und eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasmatechnologie zur Plasmaanalyse, zum Plasmamonitoring, zur Prozessoptimierung, zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.

EMICON LC SYSTEM

DÜNNSCHICHTKONTROLLE

Das EMICON LC System ist eine ideale Erweiterung der EMICON SA und EMICON MC System zur in-situ Echtzeitmessung von Transmission, Reflexion, Absorption, Farbe oder Schichtdicke am Werkstück während des Plasmaprozesses.

EMICON HR SYSTEM

HOCHAUFLÖSENDE PLASMAANALYSE

Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Plasmamonitorsystem und eignet sich besonders für die detaillierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring sowie zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.

OPTIKKOMPONENTEN

ROBUSTE UND LANGLEBIGE SENSOREN

Optikkomponenten sind die Verbindung zwischen dem Anwendungsprozess und dem Detektionssystem: Alle PLASUS Komponenten sind optimiert, ein Maximum an Lichtintensität zu übertragen bei gleichzeitiger Flexibilität und Langlebigkeit in industriellen Umgebungen.