EMICON SA SYSTEM
PROZESSKONTROLLE FÜR DIE PRODUKTION
Die EMICON SA Systeme sind die erste Wahl für eine ganzheitliche Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien. Mit der einzigartigen Erfassung und Kombination aller wichtigen Prozessdaten in einem System in Echtzeit sind die EMICON SA Systeme der weltweite Maßstab für erfolgreiche Prozesskontrolle.
EMICON SA-HIPIMS SYSTEM
PROZESSKONTROLLE FÜR GEPULSTE ANWENDUNGEN
Das EMICON SA-HIPIMS System zeichnet neben den spektralen Messadaten die Spannungs- und Stromkurven in gepulsten (HIPIMS-)Plasmaprozessen mit hoher zeitlicher Auflösung auf. Durch diese einzigartige Kombination der Messdatenerfassung kann die Ionendichte unabhängig von der Gaszusammensetzung voneinander geregelt werden. Bei reaktiven Prozessen eröffnet sich damit die Möglichkeit stoichiometrische und morphologische Schichteigenschaft getrennt einzustellen.
EMICON MC SYSTEM
PLASMAMONITORING UND PROZESSOPTIMIERUNG
Die EMICON MC Systeme sind ideale Plasmamonitorsysteme für den F&E Bereich und eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasmatechnologie zur Plasmaanalyse, zum Plasmamonitoring, zur Prozessoptimierung, zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.
EMICON LC SYSTEM
DÜNNSCHICHTKONTROLLE
Das EMICON LC System ist eine ideale Erweiterung der EMICON SA und EMICON MC System zur in-situ Echtzeitmessung von Transmission, Reflexion, Absorption, Farbe oder Schichtdicke am Werkstück während des Plasmaprozesses.
EMICON HR SYSTEM
HOCHAUFLÖSENDE PLASMAANALYSE
Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Plasmamonitorsystem und eignet sich besonders für die detaillierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring sowie zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.
OPTIKKOMPONENTEN
ROBUSTE UND LANGLEBIGE SENSOREN
Optikkomponenten sind die Verbindung zwischen dem Anwendungsprozess und dem Detektionssystem: Alle PLASUS Komponenten sind optimiert, ein Maximum an Lichtintensität zu übertragen bei gleichzeitiger Flexibilität und Langlebigkeit in industriellen Umgebungen.