EMICON SA SYSTEM
PROZESSKONTROLLE FÜR DIE PRODUKTION
Die EMICON SA Systeme sind die erste Wahl für eine ganzheitliche Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien. Mit der einzigartigen Erfassung und Kombination aller wichtigen Prozessdaten in einem System in Echtzeit sind die EMICON SA Systeme der weltweite Maßstab für erfolgreiche Prozesskontrolle.
EMICON FS SYSTEM
PROZESSKONTROLLE FÜR HIPIMS UND GEPULSTE ANWENDUNGEN
Das EMICON FS System ist ein schnelles spektroskopisches Plasmamonitorsystem, das eine kontinuierliche pulsaufgelöste Prozessüberwachung und -steuerung in gepulsten Plasmaanwendungen wie HIPIMS oder Pulsed-DC ermöglicht. Mit seiner beispiellosen Zeitauflösung setzt das EMICON FS System neue und weltweit einzigartige Standards in der industriellen Prozesskontrolle.
EMICON MC SYSTEM
PLASMAMONITORING UND PROZESSOPTIMIERUNG
Die EMICON MC Systeme sind ideale Plasmamonitorsysteme für den F&E Bereich und eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasmatechnologie zur Plasmaanalyse, zum Plasmamonitoring, zur Prozessoptimierung, zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.
EMICON LC MODUL
DÜNNSCHICHTKONTROLLE
Das EMICON LC Module ist eine ideale Erweiterung der EMICON SA und EMICON MC System zur in-situ Echtzeitmessung von Transmission, Reflexion, Absorption, Farbe oder Schichtdicke am Werkstück während des Plasmaprozesses.
EMICON HR SYSTEM
HOCHAUFLÖSENDE PLASMAANALYSE
Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Plasmamonitorsystem und eignet sich besonders für die detaillierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring sowie zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung.
OPTIKKOMPONENTEN
ROBUSTE UND LANGLEBIGE SENSOREN
Optikkomponenten sind die Verbindung zwischen dem Anwendungsprozess und dem Detektionssystem: Alle PLASUS Komponenten sind optimiert, ein Maximum an Lichtintensität zu übertragen bei gleichzeitiger Flexibilität und Langlebigkeit in industriellen Umgebungen.