EMICON HR System

EMICON HR SYSTEM

Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Plasmamonitorsystem und eignet sich besonders für die detaillierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring. Die spektrale Auflösung ist nahezu 10x höher als die der EMICON MC Systeme. Dadurch können eng beieinander liegende Atomlinien sowie Vibrations- und Rotationslinien aufgelöst werden.

ANWENDUNGEN

  • Spektralanalyse von Plasmaprozessen
  • Prozessbeobachtung und Prozessoptimierung
  • Überwachung der Prozessstabilität
  • Endpunktbestimmung in Plasma-Ätzprozessen
  • Erkennung und Überwachung von Plasmaverunreinigungen

TECHNISCHE DATEN

Spektrometerkanäle:1
Spektrale Auflösung:0.2 – 0.5 nm
Wellenlängenbereich:200 – 860 nm
Signalauflösung:16 Bit
Zeitauflösung:ca. 50 ms bis Minuten
Digitale Ein- und Ausgänge:TTL 5Volt (2/4)
Analoge Ausgänge:± 10 Volt (4/8)
Anschluss:USB 2.0

MERKMALE

Datenaufnahme mit hochauflösendem Breitband-Spektrometer
Echtzeitbeobachtung der Lichtemission
Plasmaanalyse und Prozessbeobachtung
Wiedergabe von gespeicherten Messdaten zur Prozessanalyse
Prozesskontrolle mit Sollwertfunktion
Digitale und analoge Ein- und Ausgänge zur Systemintegration
Komfortable EMICON Software für Windows

EMICON HR SYSTEM

Mit einem Spektralbereich von 200-860 nm deckt das einkanalige EMICON HR System die wichtigen Teile der UV-VIS-NIR Bereiche ab. Mit einer 10fach besseren spektralen Auflösung im Vergleich zu den anderen EMICON Systemen ermöglicht das EMICON HR eine wesentlich bessere spektrale Trennung von benachbarten Atomlinien und die Auflösung von Vibrations- und Rotationslinien in Molekülbanden. Durch die kompakte Bauform ohne bewegliche Teile und die Datenübermittlung über eine USB Schnittstelle kann das EMICON HR System einfach und problemlos transportiert und an verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden.

Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für die Spektrenauswertung, für die Plasmaanalyse und für das Plasmamonitoring: Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, Vorlagenmanager und vieles mehr.