Seit 1996 entwickelt, produziert und vertreibt PLASUS innovative und anwendungsorientierte Plasmamonitor- und Prozesskontrollsysteme. Die Anwendungspalette reicht von der Qualitätskontrolle von PECVD-Plasmen über die aktive Prozessregelung in reaktiven Sputterprozessen und der Endpunktdetektion in Ätzprozessen bis hin zur Prozessüberwachung von atmosphärischen Plasmen.
Am 23. September 2021 feierte PLASUS sein 25jähriges Firmenjubiläum unter dem Motto
25 Jahre PLASUS – Innovative Produkte für die spektroskopische Prozessüberwachung und -steuerung
Aufgrund der COVID-19 Situation fand die Feier als Hybridveranstaltung mit ca. 30 Gästen vor Ort und über 70 Online-Gästen aus Europa, Amerika, Asien und Australien statt.
Der Firmengründer Dr.-Ing. Thomas Schütte skizzierte in seinem Eröffnungsvortrag den Werdegang der Produkte und berichtete von aktuellen und zukünftigen Projekten und Entwicklungen.
Der anschließende Festvortrag How R&D Cooperations Turn into Mutual Success Stories von Prof. Dr. Ralf Bandorf vom Fraunhofer IST Braunschweig beleuchtete anschaulich die Wertschöpfung von Kooperationen und Kooperationsprojekten.
In drei weiteren Kurzvorträgen stellten die PLASUS Mitarbeiter Peter Neiß, Marius Radloff und Dr. Jan-Peter Urbach die neuesten Entwicklungen zum EMICON System, zur SPECLINE Software und zum LAYER Control System vor.
Im Anschluss an die Vorträge konnten sich die Online-Gäste in Breakout Rooms mit den Experten von PLASUS austauschen. Die Gäste vor Ort kamen in den Genuss von Bier & Brezn sowie Hands-On Vorführungen in den Laboren und Produktionsräumen in Mering.
Herr Peter Neiß erklärte die neusten Entwicklungen im EMICON SA System (linkes Bild) und Herr Dr. Jan-Peter Urbach demonstrierte das neue EMICON LC System zur insitu und inline Farb- und Schichtdickenbestimmung an einem Laboraufbau (rechtes Bild).
Dr. Thomas Schütte dankt allen Unternehmen, Forschungseinrichtungen, Partnern und Kollegen für die erfolgreichen 25 Jahre von PLASUS und freut sich mit allen Partnern auf den gemeinsamen Weg in die Zukunft.
