EMICON MC System

EMICON MC SYSTEM

Die EMICON MC Systeme sind ideale Plasma­monitorsysteme für den F&E Bereich und eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasma­technologie insbesondere zur Plasma­analyse, zum Plasma­monitoring und zur Prozess­optimierung.

ANWENDUNGEN

  • Prozessbeobachtung und Prozessoptimierung
  • Überwachung der Prozessstabilität
  • Endpunktbestimmung in Plasma-Ätzprozessen
  • Detektion von Plasmaverunreinigungen
  • Leckdetektion
  • Bestimmung von Schichteigenschaften ( mit LC Modul )

TECHNISCHE DATEN

Spektrometerkanäle:1-8
Spektrale Auflösung:1.5 nm
Wellenlängenbereich:200 – 1100 nm
Signalauflösung:16 Bit
Zeitauflösung:ca. 20 ms bis Minuten
Digitale Ein- und Ausgänge:TTL 5Volt (2/4)
Analoge Regelausgänge:± 10 Volt (4/8)
Anschluss:USB 2.0

MERKMALE

Datenaufnahme mit Breitband-Spektrometern
Echtzeitbeobachtung der Lichtemission
Prozesskontrolle mit Sollwertfunktion und PID Regelfunktion
Mehrkanalsysteme für ortsaufgelöste Messungen
Wiedergabe von gespeicherten Messdaten zur Prozessanalyse
Digitale und analoge Ein- und Ausgänge zur Systemintegration
Komfortable EMICON MC Software für Windows

EMICON MC SYSTEM

Die schlüsselfertigen und modular konfigurierbaren EMICON MC Systeme sind mit allen notwendigen Eigenschaften ausgerüstet, um typische Prozessplasmen für wissenschaftliche und industriellen Anwendungen zu beobachten, zu analysieren und zu optimieren.

Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm decken die Spektrometereinheiten des EMICON MC Systems den UV-VIS-NIR Bereich ab. Das EMICON MC System kann mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Der gesamte Datentransfer wird über eine USB Schnittstelle abgewickelt, sodass mit einem Notebook Steuerungs- und Regelungsaufgaben realisiert werden können. Mit der Erweiterung um das EMICON LC Modul können zeitgleich Schichteigenschaften wie Reflexion, Transmission, Schichtdicke oder Farbe gemessen werden.

Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für das Plasmamonitoring, für die Plasmaanalyse und für die Prozessoptimierung: Vorlagenmanager, Datenarithmetik in Echtzeit, Regelalgorithmen, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten und vieles mehr.