EMICON MC SYSTEM
Die EMICON MC Systeme sind ideale Plasmamonitorsysteme für den F&E Bereich und eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasmatechnologie insbesondere zur Plasmaanalyse, zum Plasmamonitoring und zur Prozessoptimierung.
ANWENDUNGEN
TECHNISCHE DATEN
| Spektrometerkanäle: | 1-8 |
| Spektrale Auflösung: | 1.5 nm |
| Wellenlängenbereich: | 200 – 1100 nm |
| Signalauflösung: | 16 Bit |
| Zeitauflösung: | ca. 20 ms bis Minuten |
| Digitale Ein- und Ausgänge: | TTL 5Volt (2/4) |
| Analoge Regelausgänge: | ± 10 Volt (4/8) |
| Anschluss: | USB 2.0 |
MERKMALE
EMICON MC SYSTEM
Die schlüsselfertigen und modular konfigurierbaren EMICON MC Systeme sind mit allen notwendigen Eigenschaften ausgerüstet, um typische Prozessplasmen für wissenschaftliche und industriellen Anwendungen zu beobachten, zu analysieren und zu optimieren.
Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm decken die Spektrometereinheiten des EMICON MC Systems den UV-VIS-NIR Bereich ab. Das EMICON MC System kann mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Der gesamte Datentransfer wird über eine USB Schnittstelle abgewickelt, sodass mit einem Notebook Steuerungs- und Regelungsaufgaben realisiert werden können. Mit der Erweiterung um das EMICON LC Modul können zeitgleich Schichteigenschaften wie Reflexion, Transmission, Schichtdicke oder Farbe gemessen werden.
Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für das Plasmamonitoring, für die Plasmaanalyse und für die Prozessoptimierung: Vorlagenmanager, Datenarithmetik in Echtzeit, Regelalgorithmen, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten und vieles mehr.