Besuchen Sie uns auf der SVC TechCon 2021 Virtual vom 3. Mai bis 7. Mai 2021. uf der SVC TechCon 2021 Virtual Konferenz, stellt PLASUS seine neueste Entwicklung für das Plasmamonitoring und die Prozesskontrolle vor. Wir laden Sie herzlich zu den Vorträgen aus unserem Hause ein.
Thomas Schütte
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Der neue Puls- und HIPIMS-Sensor des EMICON SA Systems erfasst die Pulsstrom- und Pulsspannungskurven und kombiniert die Auswertung der elektrischen Daten mit den Daten aus der spektroskopischen Plasmaüberwachungstechnik in einem einzigen System. Damit ist eine unabhängige Regelung von Ionisationsgrad und Reaktivgasfluss in reaktiven Puls- und HIPIMS-Prozessen jetzt möglich und öffnet die Tür zu vielen neuen Anwendungen in F&E und Industrie.